直拉单晶炉主要有哪几部分：（）。

答案大类：医学继续教育小类:医学继续教育 2024-11-28 11:00:39

A、气压控制系统
B、炉室
C、单晶硅棒生长控制系统
D、晶体及坩埚旋转和升降机械传动系统

答案：ABCD

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